真空腔室Ф246×228mm,304優質不銹鋼
分子泵進口Pfeiffer分子泵
前級泵機械泵,北儀優成
真空規全量程真空規,上海玉川
濺射靶Ф2英寸永磁靶2支(含靶擋板)
濺射電源500W直流電源1臺,300W射頻電源1臺
流量計20sccm/50sccm進口WARWICK
控制系統PLC+觸摸屏智能控制系統1套
冷水機LX-300
前級閥GDC-25b電磁擋板閥1套
旁路閥GDC-25b電磁擋板閥1套
限流閥DN63mm一套
充氣閥Φ6mm,電磁截止閥1套
放氣閥Φ6mm,電磁截止閥1套
基片臺Ф100mm,高度:60~120mm可調,旋轉:0-20r/min可調,可加熱至300℃
膜厚監控儀進口Inficon SQM-160單水冷探頭,精度0.1?(選配)
真空管路波紋管、真空管道等1套
設備機架機電一體化
預留接口CF35法蘭一個
備件CF35銅墊圈及氟密封圈全套等
桌面型磁控濺射鍍膜儀是一種用于薄膜沉積的設備,廣泛應用于材料科學、光學電子、半導體制造以及其他領域。這種設備利用磁控濺射技術,將靶材上的原子或分子濺射到基材表面,形成均勻的薄膜。
以下是一些關于桌面型磁控濺射鍍膜儀的主要特點和功能:
1. **緊湊設計**:桌面型設備比傳統的大型鍍膜設備更為緊湊,適合實驗室和小型生產環境。
2. **操作簡便**:相較于大型設備,桌面型磁控濺射設備通常更易于操作,適合不同水平的用戶。
3. **多種材料**:可以使用金屬、氧化物、氮化物等多種靶材進行沉積,滿足不同的鍍膜需求。
4. **高均勻性**:磁控濺射技術能夠實現高均勻性的薄膜沉積,適用于對膜層厚度均勻性要求較高的應用。
5. **可調參數**:用戶可以根據實際需求調節濺射功率、氣體流量、真空度等參數,以優化膜層的特性。
6. **應用廣泛**:應用于光學涂層、半導體器件、電池材料、傳感器等領域。
7. **環保性**:相較于其他鍍膜技術,磁控濺射具有較低的環境影響,噪聲和廢氣排放較少。
如果你有特定的需求或問題,歡迎進一步詢問!
小型磁控濺射鍍膜機是一種常用于材料表面處理的設備,它的主要功能包括:
1. **薄膜沉積**:能夠在基材表面沉積金屬、絕緣體或半導體薄膜,廣泛應用于電子、光學和材料科學等領域。
2. **均勻性**:通過磁控濺射技術,能夠實現良好的膜厚均勻性和致密性,有助于提高薄膜性能。
3. **可調性**:用戶可以根據不同的需求調整沉積參數,如功率、氣壓和氣體成分,以獲得的沉積效果。
4. **多種材料選擇**:支持多種靶材的使用,能夠沉積不同材料的薄膜,如鋁、銅、氮化硅等。
5. **快速成膜**:小型磁控濺射鍍膜機相對快速,適合小批量實驗或研發。
6. **低溫沉積**:允許在較低溫度下進行沉積,有助于減少基材的熱負荷,適合對熱敏感材料的處理。
7. **簡單操作**:由于其結構緊湊且操作相對簡單,適合實驗室和小規模生產使用。
這些功能使得小型磁控濺射鍍膜機在科研、工業和教學等多個領域中得到廣泛應用。

靶材通常是在物理、化學和材料科學等領域中使用的一種材料,主要具有以下功能:
1. **靶向作用**:在粒子物理實驗中,靶材可用于吸收入射粒子并產生可觀測的反應,如在粒子加速器中用作靶。
2. **材料沉積**:在薄膜沉積技術中,靶材用于將材料蒸發或濺射到基底上,形成薄膜。這在電子器件、光學涂層等應用中重要。
3. **反應介質**:在化學反應中,靶材可以作為反應物,產生相應的化學反應或物理變化。
4. **能量傳輸**:靶材能夠接收入射粒子的能量并將其轉化為其他形式的能量,或以其他方式傳遞能量。
5. **示蹤和檢測**:在放射性同位素研究中,靶材可以用作示蹤劑,幫助檢測和分析現象。
總之,靶材在科學研究和工業應用中扮演著重要的角色,其具體功能根據應用場景的不同而有所差異。

樣品臺通常用于科學實驗、顯微鏡觀察及工業測試等領域,其主要功能包括:
1. **支撐樣品**:樣品臺提供一個穩定的表面,用于放置和支撐待觀察或測試的樣品。
2. **調整位置**:許多樣品臺具有可調節的機制,允許用戶定位樣品,以便于觀察和分析。
3. **光學觀察**:在顯微鏡等光學設備中,樣品臺能夠在光束的照射下,讓研究人員清晰觀察樣品的細節。
4. **溫度控制**:一些樣品臺具有溫控功能,可以在特定的溫度條件下實驗,適用于生物樣品的觀測。
5. **樣品固定**:樣品臺上通常會配備夾具或黏合劑,以確保樣品在觀察或測試過程中移動。
6. **兼容性**:許多樣品臺設計為能夠與不同類型的設備(如顯微鏡、光譜儀等)兼容,便于科學研究。
7. **數據記錄**:某些樣品臺配備傳感器,可以實時記錄樣品的變化,便于后續分析。
以上是樣品臺的一些主要功能,具體功能可能根據不同的應用領域和設備類型而有所不同。

離子濺射儀是一種用于材料表面分析和處理的設備,主要功能包括:
1. **材料沉積**:可以用于在基材表面上沉積薄膜,常見于半導體、光電子器件和表面涂層的制造。
2. **表面分析**:通過濺射過程,可以分析材料的成分和結構,常用于質譜分析和表面分析技術,如時間飛行質譜(TOF-MS)。
3. **清潔和去除涂層**:可以去除材料表面的污染物或舊涂層,為后續處理做好準備。
4. **再結晶和表面改性**:可以通過離子轟擊改變材料的表面狀態,如增加薄膜的粘附力、改善光學性能等。
5. **刻蝕**:在微電子工藝中,用于刻蝕特定區域,形成所需的圖案和結構。
6. **離子 implantation**:將離子注入材料中,以改變其電學、光學或機械性質。
離子濺射儀在材料科學、微電子、納米技術等領域有著廣泛的應用。
濺射靶(Sputter Gun)主要用于物相沉積(PVD)技術中的薄膜生長。其適用范圍包括但不限于以下幾個領域:
1. **半導體制造**:用于沉積金屬、氧化物等材料,以制作電子器件中的導電層和絕緣層。
2. **光學涂層**:在光學設備中應用,如鏡頭、濾光片等,增加其反射、透射或抗反射性能。
3. **太陽能電池**:用于沉積薄膜材料,以提高光電轉換效率。
4. **硬涂層**:在工具、機械零部件上沉積硬質涂層,提升耐磨性和耐腐蝕性。
5. **裝飾性涂層**:在產品表面沉積金屬或合成材料涂層,提升美觀和防護性能。
6. **磁記錄媒體**:用于制造磁盤和磁帶等數據存儲介質。
7. **生物醫學應用**:在器械及生物材料上沉積涂層,改善其生物相容性和性能。
濺射靶因其能夠沉積均勻、致密的薄膜,以及適用多種材料,廣泛應用于現代材料科學與工程領域。
http://m.miaothink.com